北京怀柔实验室实验平台建设2024年第一批国际设备采购项目国际招标公告（2）

（略）受招标人：（略）
1粉末旋转床ALD（略）1套系统主机配置4个前驱体通道，反应器可进行1mL至200mL的单批量粉末样品处理。并同时满足平面样品的加工需要，包括但不限于硅片，薄膜等。主机包含基本的：电源控制模块、隔离腔、隔离腔支架、低蒸汽压前驱体源储存室。该系统内所有模块由主机集中供电。粉末腔门配备观察窗，（略）启动后，在前驱体注入的过程中实时通过玻璃观察窗实时观察粉末类样品的运动状态。通过观察窗可以了解设定的参数是否符合要求。必须集成在设备中，不额外占用地面空间（即臭氧发生器需在设备内部或外壁，不能位于地面），使用噪音小于60分贝。注：1）详细技术参数见招标文件第二册第八章《货物需求一览表及技术规格》。2）*本项目投标人须以标包为单位：（略）
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）如果投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应提供制造厂商的正式授权函；不接受代表处、办事处、分公司等不具备独立承担民事责任能力单位：（略）