材料系射频等离子源采购成交公告

Print南方科技大学SUSTech-JC-（略）竞采结果公告项目名称：（略）
（略）SUSTech-JC-（略）
项目类型货物类
成交方式：（略）
公示时间本公告自发布之日起三日
成交单位：（略）
成交金额(元)322000.00
成交理由最低价成交
预算(元)340000.0
项目预算是否含税国产含税
备注
响应情况采购明细
（略）名称：（略）
1
射频等离子源（核心货物）
1
台（套）
322000.0
322000.0
是否接受进口
拒绝进口
品牌
费勉仪器科技（上海）（略）
（略）
FERMI-RFPS-200
生产厂商
费勉仪器科技（上海）（略）
产地信息
中国
技术规格及参数
1.RFPS-200射频等离子源：适用气体：氮气，氢气，氧气；安装法兰：CF100或CF63；进气法兰：CF16；工作气体流量范围：0.1-10sccm；主腔工作气压：工作距离：100-200mm；源体深入腔体的长度：400mm；特殊设计的多孔引出结构，可根据生长需求进行定制；射频驱动功率：500W；匹配器：自动匹配；冷却水循环通过线圈，水温2.射频电源：射频驱动功率：500W，频率：13.56MHz。3.匹配器：自动和手动切换，功率：1000W。4.光谱仪：适用波段：380—960nm，狭缝宽度100μm；光学分辨率1.5nm，积分时间1ms-60s；包含光纤，光纤可固定法兰。5.气路面板：质量流量计，精密气体流量控制：0.1sccm-10sccm；全金属VCR（略）标准设计；气体纯化器；（略）PE管。
质保期
验收之日起提供1年质保。
售后要求
满足。1.提供制造商免费质保1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人：（略）
付款方式：（略）
交货期合同签订后50天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前7天（自然日）通知送货