[HF20241076]MEMS工艺开发成交公告

1.项目名称：（略）
2.成交供应商名称：（略）
3.成交供应商地址：（略）
4.成交金额(币种)：5.200万元
5.付款方式：（略）
6.主要成交标的：
（略）
服务内容
服务期限
1
基于MEMS加工工艺制作谐振腔，通过光刻、外延、薄膜淀积、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装为基本工艺步骤来制造。按以上工艺流程开发，提交包含完整结构的晶圆1片。
合同签订后30天之内完成服务
2
3
华中科技大学光学与电子信息学院
2024年05月14日