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8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台（重新招标））国际招标公告（2）
所属地区：安徽 - 蚌埠 发布日期：2024-04-30| 所属地区： | 安徽 - 蚌埠 | 招标业主： | 略 登录查看 | 信息类型： | 招标公告 |
| 更新时间： | 2024/04/30 | 招标代理： | 略 登录查看 | 截止时间： | 略 登录查看 |
咨询该项目请拨打：187-8889-8240
（略）受招标人：（略）
1蒸发台3套工艺腔室本底真空：优于3E-7Torr；真空抽速：室温下30分钟从大气抽到3E-6Torr或更优；真空室漏率：＜7.5E-10Torr？L/s；冷泵正常工作时，一级温度≤65K，二级温度≤12K；其他参数详见第八章
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人：（略）
1蒸发台3套工艺腔室本底真空：优于3E-7Torr；真空抽速：室温下30分钟从大气抽到3E-6Torr或更优；真空室漏率：＜7.5E-10Torr？L/s；冷泵正常工作时，一级温度≤65K，二级温度≤12K；其他参数详见第八章
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人：（略）
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