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8英寸MEMS晶圆生产线之大束流离子注入机国际招标公告（2）
所属地区：安徽 - 蚌埠 发布日期：2024-04-30| 所属地区： | 安徽 - 蚌埠 | 招标业主： | 略 登录查看 | 信息类型： | 招标公告 |
| 更新时间： | 2024/04/30 | 招标代理： | 略 登录查看 | 截止时间： | 略 登录查看 |
咨询该项目请拨打：187-8889-8240
（略）受招标人：（略）
1大束流离子注入机1台主要用于产品的大束流注入工艺。晶圆规格：8英寸（直径200mm），notch晶圆；晶圆厚度：400μm~900μm；注入杂质：B11+，P31+，BF2+，As75+，Sb51+；Twist0°~360°（精度优于0.5°）；详见招标文件第八章
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人：（略）
1大束流离子注入机1台主要用于产品的大束流注入工艺。晶圆规格：8英寸（直径200mm），notch晶圆；晶圆厚度：400μm~900μm；注入杂质：B11+，P31+，BF2+，As75+，Sb51+；Twist0°~360°（精度优于0.5°）；详见招标文件第八章
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人：（略）
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