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8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉国际招标公告(1)

所属地区:安徽 - 蚌埠 发布日期:2024-04-29
所属地区:安徽 - 蚌埠 招标业主:登录查看 信息类型:招标公告
更新时间:2024/04/29 招标代理:登录查看 截止时间:登录查看
咨询该项目请拨打:187-8889-8240
(略)受招标人:(略)
1低应力氮化硅生长炉1薄膜应力范围-40~+40MPa(4μmPoly退火后,应力可调)。其他参数详见第八章无
2原位掺杂多晶硅生长炉1应力范围-100~0MPa,应力可调。其他参数详见第八章无
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位:(略)
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