济南量子技术研究院2024年04月（至）06月政府采购意向

济南量子技术研究院2024年04（至）06月
政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将济南量子技术研究院2024年04（至）06月采购意向公开如下：

（略）
采购项目名称：（略）
采购需求概况
预算金额
（万元）
拟面向中小企业预留
预计采购时间
（填写到月）
备注
1
大数据C栋实验室设备采购项目（十三）
1、基片尺寸:8英寸寸向下兼容4英寸/6英寸及小尺寸2、包含1个进样室、一个离子束刻蚀腔以及一个超高真空水冷溅射工艺腔，工艺腔包含：1）3个4寸靶，角度可调；2）一台功率不小于2000W的脉冲直流电源。电源脉冲10-100kHz频率可调；一台功率为1500W的直流电源，电源最大可输出电流4A，电压1000V；一台600W射频电源，自动匹配；一台电源转换器，用于将一台电源在靶枪之间程序切换；3）本底真空度：≤5x10-9Torr，采用低温泵，内外烘烤，无氧铜密封圈3、8英寸镀膜均匀性优于±5%
700
否
2024年06月
本次公开的采购意向是本单位：（略）
济南量子技术研究院
2024年04月26日