打印公告工科物理实验建设(六期)-
(略)(JJ
(略))采购公告发布时间:
(略):07:34阅读量:42次项目名称:
(略)
公告开始日期
(略):07:34公告截止日期
(略):00:00
采购单位:
(略)
联系人:
(略)
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求签约后60个工作日内
预算总价¥244000.00+NaN+NaN
发票要求增值税普通发票增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地
(略)3巷东北大学建筑学馆
供应商资质要求符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明
采购清单1采购商品采购数量计量单位:
(略)
(略)1台其他仪器仪表无无
品牌品牌1杭州大华
(略)TablePVD-10
品牌2
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品牌3
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品牌4
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品牌5
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品牌6
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预算单价¥244000.00
技术参数及配置要求1、溅射腔体:约Φ250×H300mm;304不锈钢焊接腔体,圆柱式,前开门配观察窗;
(略);2、
(略)2.1
(略)1)机械泵+
(略)2)前级泵:采用DRV-16机械泵及电磁压差式充气阀,抽速:4L/S3)主抽泵:分子泵,抽气速率:62L/S接口法兰:CF63,转速:72000rpm极限压强:5×10-7Pa4)主抽阀:CC-63超高真空电动闸板阀,用于分子泵与沉积室隔离,可调节分子泵抽速从而可以降低工艺气体流量,有利于稳定工艺气压。5)旁抽、前级阀门:GDC-J166)放气阀:电磁截止阀(DJ2C-6)用于真空室解除及真空充气使用。2.2真空测量:全量程数显复合真空计,测量范围:1×105~1×10-5Pa;真空测量采用“一低一高”2.3系统性能指标1)极限真空度:优于7.5×10-5Pa(连续抽气24小时达到)2)恢复真空:从大气抽至8×10-4Pa≤45分钟(充干燥氮气并且真空室内无放气量大的材料)3)真空室漏率:关机12小时真空度≤5Pa。(新设备空载,极限真空后关机)4、磁控溅射靶数量:2套1)
(略)模块化设计,靶材直接水冷;磁铁不泡水,避免磁铁腐蚀退磁;磁路模块化,方便不同应用随时更换;2)靶材大小为直径50.8mm,建议厚度≤5mm,靶材利用率超过40%3)镀膜方式:
(略)
参考链接
售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;需提供免费上门技术培训,有专门技术工程师负责指导使用,培训内容包括:系统原理、实验操作、电气控制的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容;质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外);每年免费提供2次设备巡检,能够对设备进行长期维护和检修;随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行;;
东北大学
(略):07:34
源文地址:
(略)
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