深圳技术大学深硅刻蚀机意向公开

（略）:53来源：【打印】深圳技术大学深硅刻蚀机意向公开采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:6,190,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟购置的深硅刻蚀机一套，配置参数包括：1.可进行8英寸、6英寸、4英寸刻蚀；2.传送样品机械手臂可兼容8、6、4、寸样品；3.样品台采用流体冷却温控：-30℃~80℃；液氮冷却温控：样品台温度＜-100℃;4.ICP射频源：最大功率5000W，0~5000W可调；5.RF1射频源：13.56MHz,最大功率300W，0~300W可调；6.RF2射频源：350KHz至460KHz,最大功率300W，0~300W可调；7.设备包含传输腔和刻蚀腔，刻蚀腔设备配备分子泵和干泵；8.（略）：Ar、O2、C4F8、SF6；9.工艺腔体加热温度≤60℃；10.配备光谱式终点监测装置；11.（略）12.能够进行Bosch工艺；低温直刻工艺，工艺腔样品载台温度＜-100℃;13.重复性
联系人：（略）
联系电话：（略）
预计采购时间:2024-02
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）