深圳技术大学热蒸发镀膜机意向公开

（略）:53来源：【打印】深圳技术大学热蒸发镀膜机意向公开采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:1,600,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购热蒸发镀膜机1台，配置参数包括：1.满足8英寸及向下兼容晶圆基板的蒸镀需求，适配公转；2.极限真空：≤3E-5Pa，压力上升：≤5E-6（Pa*m3/s）；3.配备热阻蒸发源，钨舟数目≥5，钨舟量≥40cc，自动切换，具有自动定位功能，可蒸镀多层膜；4.薄膜均匀度：≤±5%（公转）；5.热阻电源额定功率≥6kW；6.腔体内加热最大加热温度≥350℃；采用PID控温，控温精度：≤±0.1℃；7.具备薄膜实时测量监控功能，一用一备，自动切换。
联系人：（略）
联系电话：（略）
预计采购时间:2024-03
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）