深圳技术大学聚焦离子束分析仪意向公开

（略）:27来源：【打印】深圳技术大学聚焦离子束分析仪意向公开采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:13,000,000.000
采购品目:电子光学及离子光学仪器
采购需求概况:拟购置聚焦离子束分析仪一套，配置参数包括：1.肖特基(ZrO/W)场发射灯丝，配有单色器;成像电压范围50V－30KV连续可调;束流强度0.8pA-100nA2.电子束分辨率≤0.（略）@15kV~2kV,≤0.（略）@1kV；3.Ga离子源，加速电压0.5kV-30kV;束流强度1pA-100nA4.离子束交叉点分辨率≤2.（略）@30kV5.镜筒内探测器≥3个，其中1个是极靴内SE/BSE探测器6.配备TEM样品纳米机械手和STEM探测器7.配备W和C气体沉积8.配备氩离子抛光9.配备阴极荧光光谱分析仪10.可实现复杂微纳米图形的加工制备11.可实现全自动TEM样品制备，自动三维切片和三维数据分析处理
联系人：（略）
联系电话：（略）
预计采购时间:2024-03
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）