滨州魏桥国科高等技术研究院-竞价公告（CBBZWQGK2024000013）

首页采购需求竞价需求滨州魏桥国科高等技术研究院-竞价公告(CBBZWQGK（略）)发布时间：（略）:53:34截止时间：（略）:03:22基本信息：申购主题：高真空计报价要求：国产含税发票类型：增值税专用发票付款方式：（略）
备注说明：
采购明细：序号采购内容数量/单位：（略）
1高真空计1/台无无本次招标需要采购1台高真空计，还需将该仪器安装在实验室的主设备上面。一、技术参数：1、测量范围（空气，N2）：5×（略）mbar2、测量范围（空气，N2）：3.8×（略）Torr3、精度（N2）1×（略）毫巴：±30%4、可重复性1×（略）毫巴：±5%5、容许压力：≤10bar（limitedtoinertgases）6、容许温度：（1）运行（环境）：+5至+55℃（2）贮存：-40至+65℃（3）烘烤：150℃（4）单丝温度（皮拉尼）：120℃7、电源电压（1）真空计上：+15至+30V（dc）（2）缆线最长的电源装置：+16至+30V（dc）（3）波纹：≤1V（p-p）8、功耗：≤2W9、可连接的保险丝：≤1AT10、（略）（（略））（1）电压范围：0至10.5V（2）测量范围：+1.82至+8.6V11、（略）（1）无电源：＜0.5（2）皮拉尼传感器，单丝断裂：＞9.512、输出电阻：2×10Ω13、最小负载电阻：10kΩ14、反应时间（1）p＞10-6毫巴：＜10ms（2）P=10-8毫巴：1000ms15、识别真空计：85，referencedtosupplycommon16、状态：（1）仅皮拉尼模式：0V（low）（2）复合皮拉尼/冷阴极模式：15至30V（high）（3）LED：LEDgreen（highvoltageon）17、电缆长度：≤50（8×0.14mm2）18、运行电压：≤3.3kV19、运行电流：≤500μA20、内部容积：20cm3二、设计需求1、需将真空膜厚测量仪设计为反应性等离子源镀膜机（RPD）的一个高真空测量单元；2、该真空膜厚测量仪的所有连接接口需与HCD450空心阴极设备标准接口兼容，结合HCD450（略），对真空腔室本底真空，工艺前及工作压力，分子泵前级压力以及工艺完成时，腔室破空的压力进行闭环控制，满足HCD450空心阴极设备的工艺需求。按行业标准提供服务
（略）地址：（略）