防护材料高通量材料制备系统项目采购意向

（略）项目
采购意向公开

为充分调查（略）场资源潜力、广泛征求供应商意见建议，确保采购需求论证充分、采购活动竞争充分、采购结果公平公正，根据军队采购工作有关规定，（略）项目采购意向进行公开发布，欢迎广大供应商来电来函或来人了解项目情况、提出宝贵建议，我们将及时向您反馈意见采纳情况。
一、采购单位：（略）
（略）某单位：（略）
二、采购需求概况
（略）1套。
三、概算金额
约200万元
四、初步技术参数
（一）功能用途
（略）应具备制备纳米厚度的金属、半导体、超导材料、氧化物、氮化物、碳化物等物质薄膜的功能，具备一些类金刚石、三元层状陶瓷等制备难度较高的薄膜制备功能，同时可实现薄膜材料的高通量制备。需满足防护材料高通量制备的教学与科研工作。
（二）主要指标
（略）应采用超高真空脉冲激光沉积技术，系统应包括进样室、沉积室、四维高温样品台、靶材台、（略）、（略）、（略）、（略）、（略）、准分子激光器、（略）等。具体应满足一下指标要求：
1.基底尺寸：可达到2英寸。
2.基底最高温度：在高氧压中所有基片材料可达900℃。
3.沉积室极限真空：本底真空度优于9×10-7Pa，进样室极限真空：优于8×10-6Pa。
4.靶台：φ1英寸×6个；靶材自转，同时可公转和摆动扫描，Z轴可自动升降。
5.（略）：含三维位移台两套，掩模板可沿X、Y、Z方向移动，可实现高通量材料制备。
6.（略）：可在线测量激光窗口能量，且不破空更换激光窗口。
7.准分子脉冲激光器：脉冲功率不小于750mJ，频率10Hz，波长248nm。
五、预计交付时间与地点：（略）
预计交付时间：2024年10月。
预计交付地点：（略）
六、拟设定的供应商资格条件
（一）一般条件
1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条资格条件；
2.不在军队采购违规供应商“黑名单”内；
3.成立时间不少于3年，且为非外资独资或外资控股企业；
4.非联合体形式参加投标（报价）。
七、联系方式：（略）
联系方式：（略）
联系人：（略）
截止时间：2023年12月17日
八、特殊说明
1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，具体采购项目情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；
2.（略）反馈参与意向和意见建议。
九、监督热线电话
对采购意向公开过程中，供应商认为采购单位：（略）
监督热线：（略）



2023年11月27日