(略)(立即查看)受业主单位:
(略)
二、
(略):/
三、采购项目名称:
(略)
四、采购组织类型:/
五、采购项目概况:
标的名称:
(略)
预算金额((略)):(略)
货物或服务的说明:详见附件
六、符合上述采购要求的进口产品产地、品牌(一家及以上):/
七、申请理由:
离子束显微镜属于高精尖的显微成像和微观加工设备,对产品制造商的生产工艺和加工精度有严格的要求。
目前国内产品的电子束(略)辨率为1.
(略)@(略)kV,离子束(略)的(略)辨率为
(略)@(略)kV,无其他重要参数公布。
在芯片器件研究方面,进口设备可以进行高(略)辨观察,并且电子束(略)辨率最高可以优于0.
(略)@(略)kV,最大束流强度优于(略)nA,束流稳定性优于0.2%/h,抗噪声性能优于1%/h;离子源寿命不小于(略)μAh;在加工方面,进口设备可以搭载离子束镜筒,对器件等样品进行(略)um尺度的截面切割和微纳加工,还可通过搭配纳米机械手进行透射样品制备;离子束显微镜还可以搭载进口的能谱仪,实现对样
(略)的(略)素(略)析,也可以通过搭载飞秒激光(略),将加工尺度提升到毫米级别以上,对大尺寸的器件结构和深埋结构的切割(略)析有重要意义。
综述所述,国内产品电子束(略)辨率、以及选配功能无法满足目前实验室的科研需求。
(一(略)采购进口产品管理办法》(财库【(略)采购进口产品管理有关问题的通知》(财办库【(略)】(略)号)二、三的认定情形。
(二)该设(略)部《限制进口机电产品目录》和《中国禁止进口限制进口技术目录》。
(三)
(略)场调研,国内产品的性能与进口产品存在一定的差距,并且国内产品性能稳定性仍
(略)场检验,不满足采购单位:
(略)
八、论证专业人员信息及意见:详见附件
九、其它事项:
1、本项目公告期限为3个工作日,供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的,可以在公示期限内(截止时间为本公示发布之日后的第4个工作日),以书面形式向采购人:
(略)
十、联系方式:
(略)
采购人:
(略)
联系人:
(略)
联系电话:
(略)
附件信息:
进口论证-聚焦离子束扫描电子显微镜.pdf
3.3M
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