关于冯军课题组采购四源手套箱连接热蒸发镀膜机的申请采购公告

Print南方科技大学SUSTech-JC-（略）竞采采购公告项目名称：（略）
（略）SUSTech-JC-（略）
项目类型货物类
成交方式：（略）
采购方式：（略）
公告开始时间（略）:30:12
公告结束时间（略）:30:12
预算(元)420000.00
项目预算是否含税国产含税
备注
采购明细
（略）名称：（略）
1
四源手套箱连接热蒸发镀膜机（核心货物）
1
套
品牌
无推荐品牌
（略）
（略）
技术规格及参数
技术要求1.1四个电阻热蒸发源：其中两套金属舟蒸发源，通过铜水冷电极柱，将大电流引入真空室内。还有两套束源炉蒸发源配石英坩埚；1.2设备由立式矩形真空室三开门、电阻热蒸发源、束源炉、可旋转加热样品台、机械泵分子泵真空机组、（略）、（略），（略）组成；1.3真空室采用真空专用奥氏体不锈钢304材料；1.4设备整体结构采用标准铝型材作为框架主体承载真空室；1.5蒸发源之间安装挡板，避免交叉污染，蒸发源带挡板；1.（略）处安装可旋转样品架,可装数量4片基片且每一片基片尺寸为25mmX25mm，定制配套掩膜板样品台；1.7样品架可旋转，转速2～30转/min可调，基片和热蒸发源的距离280～340mm可调，加热温度300℃；1.8样品台配整体样品台不锈钢挡板；1.9系统极限真空度：极限真空入2X10-5Pa。工作背景真空度8×10-4Pa，抽速30分钟左右(充干燥氮气)；1.10真空测量：微机型复合真空计，测量范围从1×105Pa到1×10-6Pa。电阻规测量低真空，电离规测量高真空；1.11玻璃观察窗带不锈钢挡板，避免材料镀到观察窗上，减少观察窗被镀膜的机会；同时，配有活动内衬玻璃挡板，避免镀到观察窗上，只需将活动玻璃拿出来清洗即可；1.12（略），烘烤灯采用真空密封石英灯。配烘烤照明电源；1.13配单个膜厚探头及膜厚仪，精度0.1A用于膜厚监测，不做膜层控制，高速高精度测量。频率测量分辨率为0.002Hz,测量速度为10次/S；1.14真空腔体预留与手套箱对接的过度法兰1.15电控柜：集成放置到手套箱下，组装总控制电源、（略）控制（分子泵、机械泵电源、阀等）、数显真空计、蒸发电源、PLC可编程控制器及液晶触摸屏等。柜底下配脚轮，方便移动、定位；2.镀膜室腔体部分配置2.1立式矩形三开门真空室，真空专用不锈钢（奥氏体，304）2.2真空室三开门机构2.3预留2个盲板法兰口，用于设备功能的扩展3.（略）部分配置3.1大抽速高质量性能的分子泵，抽速1200L/S3.2机械泵8L/S3.3KF40真空挡板充气阀（电动）3.4KF40高真空挡板阀（电动）3.5泵阀连接组件3.6（略）3.7微机型电阻—电离复合真空计（1低1高）大气～10-6Pa3.8低真空规管3.9高真空规管3.10充放气阀4.部件部分配置4.1Ф100观察窗4.2观察窗不锈钢挡板4.3活动玻璃内衬挡片4.4可电动旋转加热样品沉积转台4.5基片托架4.6样品台挡板4.7水冷电极柱热蒸发源（可切换单套使用）4.8源炉热蒸发源（可切换单套使用）4.9蒸发源挡板4.10（略）4.11热蒸发源之间的隔板4.12设备主机架4.13循环水冷机4.14手套箱（1500mm手套箱与真空室配合），能够与实验室内超级净化手套箱Universal系列集成控制使用。4.15小型空压机5.电控部分配置5.1总电源5.2300A恒流电源最大输出电压50V5.3500W束源炉温控电源5.4智能可控温式烘烤电源5.5（略）（配电机）5.6样品台加热电源，可将样品台加热至300℃5.7膜厚仪膜厚探头，精度0.1A，频率测量分辨率为0.002Hz,测量速度为10次/S5.8电控柜集成在手套箱中
质保期
质保期：中标人提供制造商免费质保1年。
售后要求
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人：（略）
付款方式：（略）
交货期合同签订后120天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前2天（自然日）通知送货
1.（略）参与竞采；
2.（略）供应商后参与项目竞采；
3.如对项目有疑问或质疑，请于项目截止前1（略）在线提交咨询或质疑，逾期不受理。