国科大杭州高等研究院2023年8月至10月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将国科大杭州高等研究院2023年8月至10月采购意向公开如下：序号采购项目名称：（略）
1电子束显微镜（SEM）附带电子束光刻配件（EBL）束流稳定性优于0.2%/h；二次电子分辨率1.（略）@15kv;放大倍率10~（略）倍；支持6寸wafer,换样时间小于50s;刻蚀最小线宽小于50nm（略）年10月联系人：（略）
2（略）1.系统噪音：X,Y轴闭环噪音＜60pm；Z方向高度噪音＜15pm；2.自动化控制：通过软件控制马达驱动探测激光点位置，无需手动旋钮调节；通过软件控制马达驱动光电检测器(PD)位置调节，无需手动旋钮调节。3.（略）：光电检测器带宽≥7MHz；光学分辨率≤1μm。（略）年10月联系人：（略）
3大型平行光管（F≥10m）1：光谱范围：全波段（优先保证0.4μm~20μm）2：主镜技术参数：a，口径：D≥550mm；b，焦距f≥10000mm±1%c，系统波前RMS≤λ/20（@632.8nm）d，反射率≥85%e：镀膜：表面镀金属反射膜（金、银、铝）再镀保护膜3.出射光束平行度：≤3″（略）年10月联系人：（略）
4气体分析仪1：光谱范围：4500–650cm-12：分辨率：优于0.5cm-1，连续可调。3：定量算法：实时谱型拟合定性定量算法，以混合峰型拟合为基础，分别拟合目标气与干扰气的谱型，不采用标准曲线方法。无需标准气体标定，无需自建标准曲线。4：.检测气体种类：不少于300种5：检测浓度范围：ppb-100%，不更换任何部件。6.波数精度：优于0.（略）@2000cm-（略）3年10月联系人：（略）
本次公开的采购意向是本单位：（略）