本次采购需求公告中提到的超薄材料作为气体电离室的入射窗薄膜,作用是隔绝电离室和真空腔,使得真空腔能维持高真空状态(<10-5Pa),而气体电离室内有一定气压(6000Pa)的工作气体,同时在表面镀有导电金属(比如Au)的情况下可充当电极。
详细技术指标:
1.薄膜面积不小于3cm×3cm,越大越好,可以有支撑层,但支撑层面积(死区面积)不得大于薄膜面积的10%,即薄膜有效面积大于90%;
2.在机械强度足够的基础上,薄膜厚度不能大于80nm,薄膜双面镀导电金属(最好是Au),厚度5nm(薄膜厚度不包括镀层的厚度);
3.薄膜要有一定的承压能力,最大承压能力>10000Pa,持续承压能力>6000Pa(持续时间>24h),任何基础单元都不能破损;
4.薄膜要有一定的均匀性和机械强度,保证在镀层上加载-3000V左右的电压时,电场不发生畸变,且薄膜形状不凸起或者凹陷,同时在抽真空的时候不会破损;
5.薄膜要保证气密性,不能出现过多的微漏孔,破坏真空腔的真空度。
关于薄膜面积(详细技术指标第一条)的补充(具体细节可商讨):
我们需要的薄膜为长度120mm的正方形,如果单片薄膜面积达不到可以采取多片拼接的方法,拼接时支撑层的有效面积应尽可能小,以减
(略)面积。影
(略)面积的主要有每个单元内薄膜的支撑层宽度l1和整个单元边框宽度l2,为了保证足够的有效面积,对这两个值有一定的要求。比如,若整个单元面积为30mm×30mm,则需要4×4个单元阵列,死区的面积约为12*l2*120+32*l1*120=(12*l2+32*l1)*120,则l2+2.67*l1≤1mm时,有效面积大于90%,故有l2≤0.7mm,l1≤0.1mm。如下图所示(图见附件)。
补充说明:
1.薄膜研制周期应不大于12个月;
2.厂家提供薄膜样品给我方测试,测试成功后会另行批量采购(预计每次采购的总面积不小于576cm2)。
联系人:
(略)
联系电话:
(略)
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