AOI（自动光学检验）设备采购信息公示

AOI（自动光学检验）设备采购信息公示
一、项目概况
（一）（略）：（略）
（二）项目名称：（略）
（三）项目内容及需求：
1、数量：1台
2、交期：90日历天。
3、技术要求：
3.1支持设备自动化（EAP）系统，具备半导体自动化标准协议（SECS）；
3.2晶圆上下货至少2个Loadport,支持smifpod自动传片；
3.3晶圆使用机械手臂夹持方式：（略）
3.4Stage不能接触晶圆正背面；
3.5必须要有翻转功能，保证能正背面检测；
3.6建立程式自动扫描检测和手动检测方式：（略）
3.7有5个不同倍率物镜（5X/10X/20X/50X/100X）,能自动对准和自动聚焦；
3.8最小检测精度≤5um；
3.9能扫描正常有图形晶圆（patternwafer）和正面有100um高度差深腔结构的晶圆；
3.10明场和暗场同时检测，且不影响每小时产出数量（WPH）；
3.11有缺陷分布图（defectmap）和明暗场下的缺陷图片（defectreviewimage）；
3.12能将缺陷按大小分类并统计数量；
3.13能将缺陷按不良类型分类并统计数量；
3.14重复两次量测精确度≤2%，误识别率≤5%；
3.155um精度下单面检对应每小时产出量≥60pcs,双面检对应每小时产出量≥30pcs；
3.16新建程式（Recipe）稳定性>3个月，机台数据保存半年以上；
3.17机台键盘，滑鼠，LCD屏等；
3.18修复前平均时间（MTTF）≥300h，平均修复时间（MTTR）≤4h；
3.19掉片率<1/10000，破片率<1/10000；
3.20以0.2um程式测光片晶圆，机台测机新增颗粒数<5颗；
3.21售后服务响应时间≤18H。
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明；
7、未被列入“信用中国”网站(（略）.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“（略）”（（略）.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，（略）上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。
（二）特定资格要求：
1、公司注册资金≥500万元
2、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。
3、提供近三年类似业绩清单。
4、本次招标不接受联合体投标。
三、供应商资料递交截止时间和地点：（略）
（一）截止时间：（略）:30
（二）地点：（略）
四、联系事项
采购联系人：（略）
技术联系人：（略）
五、监督电话：
审计监察部：（略）
（略）
2021年12月03日